36氪首發丨東方富海投了一個海歸博導，要挑戰日本高端激光設備巨頭

作者丨歐雪 編輯丨袁斯來 硬氪獲悉，高端工業激光裝備製造商——中微精儀科技（深圳）有限公司（下稱“中微精儀”）近日完成數千元天使輪融資。本輪融資由東方富海獨家投資，華君資本擔任長期獨家戰略財務顧問。融資資金將主要用於研發投入和團隊建設。 中微精儀成立於2024年11月，但其技術積累可追溯至2022年。公司專注於激光超精密加工領域，核心業務涵蓋碳化硅晶錠激光剝離、金剛石激光剝離、水導激光精密加工等高端工業激光裝備的研發與製造。 從團隊背景來看，中微精儀創始人陳景煜為澳大利亞新南威爾士大學研究員，長期從事特種芯片集成開發；首席科學家孫洪波為中國科學院院士、清華大學教授，是“非線性激光超精密製造”領域的先驅，整個研發團隊由清華大學+北京理工大學+吉林大學等博士團隊組成。 與多數激光設備廠商從工程測試入手的路徑不同，中微精儀選擇從激光與材料相互作用的物理原理層面切入。 “我們非常瞭解激光與材料在能量吸收時會產生什麼反應，這是解決問題的根本，我們願意從最底層原理研究出發，解決最難的產業問題，打造最高端的裝備製造。”陳景煜告訴硬氪。 以碳化硅晶錠剝離為例，公司自主研發的脈衝可編程技術，能夠先將激光精準聚焦至晶錠內部進行改質（破壞晶格鍵而不產生裂紋），再通過另一套激光工藝引導裂紋定向延伸。這種分步控制的技術路徑，使得切割損耗大幅降低。 從市場需求來看，碳化硅晶錠剝離設備的採購需求正隨8英寸產線的佈局而逐步釋放。 陳景煜向硬氪解釋，當前6英寸碳化硅襯底因價格戰已利潤微薄，廠家更新設備的動力不足。但8英寸產線從2026年起將進入建設高峰，晶錠剝離設備的採購需求隨之而來。 “2026年之前，國內廠家基本都處於測試階段，因為他們的8英寸產線還沒真正建起來。”陳景煜稱。 據公司提供的數據，在8英寸碳化硅晶錠剝離中，「中微精儀」的設備可將損耗控制在80微米以內，而傳統線切割損耗在250微米左右，其他激光設備普遍也在120微米以上。這意味著，以20毫米厚的晶錠為例，採用公司的技術可產出40-46片350微米厚的晶圓。 在更前沿的金剛石切割領域，由於金剛石硬度極高，傳統線切割幾乎無法實現有效加工。公司採用激光剝離技術，實現了單晶和多晶金剛石的高速剝離，是國內最早突破大尺寸（30mm*30mm）金剛石切割的團隊之一。 此外，中微精儀在水導激光方向也形成了自主技術佈局。水導激光技術最早由瑞士公司開發，適用於對熱損傷敏感的材料加工。公司是國內唯一實現從噴嘴、光學元件到水泵三大核心模組自主開發的團隊，切割精度可達±5微米。 儘管成立時間不長，中微精儀已率先實現國產激光設備的出海。2025年3月，公司首臺設備出廠測試，在客戶現場展示效果後便直接獲得訂單。截至目前，公司已向海外客戶實現數臺銷售，另有數臺套設備正在外部測試中。 進入2026年，隨著8英寸碳化硅產線逐步啟動建設，晶錠剝離設備的需求正加速釋放。中微精儀預計今年僅碳化硅晶錠剝離設備就實現批量銷售，業績實現規模化增長，研發實現全球代式領先優勢，銷售牢牢佔據第一梯隊優勢。產能方面，公司目前產能能滿足市場客戶需求，並且已預留擴產空間以應對後續訂單增長。 投資方觀點： 東方富海表示：新型的超快冷激光切割技術可以有效解決SiC襯底切割的難點問題，實現切割速度快、切割損耗小、切割表面質量優的效果。目前全球SiC襯底處於高速擴產和6寸向8寸邁進的產業週期，傳統的切割方式難以滿足產業的要求，因此下游客戶對於激光切割有著迫切需求。現階段掌握高精尖激光裝備製造公司稀有，產能嚴重不足，高度存在被“卡脖子”風險。中微精儀是我們目前看到的國際化的創始團隊，技術團隊擁有國際頂尖的研發能力，團隊掌握超快冷激光切割設備最核心的光路調控技術，從機理探索-工藝開發-光學優化-系統設計具備完全自主可控的能力，未來的發展非常值得期待。